新型气体传感器微热板的设计与优化

摘要

设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层.通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布,并对测量电极的结构进行了优化.当微热板的基底中前SiO2层、中问Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150 μm、100 μm且测量电极不放叉指时,微热板中心温度最高且能够获得最佳温度分布.这种新型的微热板结构有助于提高传感器的整体性能.