基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器

摘要

为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺.首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式.通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性.