一种高量程加速度传感器的性能测试与分析

摘要

针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器,通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金 森杆冲击校准装置,测试了传感器的灵敏度和频响特性.试验结果表明:该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470±0.03μV/g,幅值误差士5％时,工作频带为15.5 kHz;Y轴方向的灵敏度为(0.517±0.03μV/g,幅值误差±5％时,工作频带为16.9 kHz.该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量,可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器.