超精密磨削加工技术在微结构光学功能元件模具制造中的应用

摘要

随着航空航天、精密仪器、光学、激光技术的飞速发展,对于各种复杂平面、曲面的加工技术要求日益精密化,超精密磨削技术的应用范围也越来越广.借助于超精密磨削技术,可以直接加工出具有纳米级表面粗糙度及亚微米级形面精度的表面,具有高成像质量,对于光学功能原件磨具的制造具有极为重要的意义.本文以超精密磨削加工技术出发,探讨其在微结构光学功能元件模具制造中的应用.