飞秒激光制备波导结构专利技术综述

摘要

飞秒激光制备波导结构具备以下特点:1、无热熔区,冷加工;2、可加工材料广泛,包括晶体透明陶瓷聚合物玻璃等;3、高精度、高分辨率,可突破衍射极限;4、对环境没有特殊要求,无污染,以上特点使得飞秒激光制备波导结构的技术得到了长足的发展.本文主要介绍了飞秒激光制备波导结构的专利技术演变以及该领域重要申请人的技术发展路线.