一种带温补型微量程气体流量计

摘要

本文研制了一种带温度补偿模型的微量程段气体质量流量计,分析了传感器的驱动电路,证明了恒压驱动下,检测电路的可行性.同时,针对外界温度变化导致传感器输出信号发生偏移,利用多数据点融合的温补方案,提高了不同温度点传感器测试性能的一致性.测试结果证明,在0～5mL/min的范围内,带温度补偿模块的流量计具有较高的测试精度.