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二十一世纪的纳米硅电子技术

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摘要

装置技术为适应电子市场的需求而发展,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势;并分析了纳米硅电子技术与信息产业发展的关系.

著录项

来源
《信息技术与信息化》 |2002年第3期|13-14|共2页
作者
张天明;
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作者单位

山东电视台发射台;

济南;

250062;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
硅电子; 纳米; 信息技术;

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