基于机器视觉的芯片引脚缺陷检测研究

摘要

针对芯片引脚人工检测效率低、误检率高、检测系统装置复杂以及检测方法性能低等问题,对芯片引脚种类及缺陷特征方面进行了研究,并对芯片引脚缺陷检测流程进行了分析归纳,提出了一种基于机器视觉的芯片引脚缺陷检测算法,实现了芯片引脚缺陷在线检测.研究结果表明,实验所采用的算法能够准确判断芯片引脚不完整、不共面以及左右偏移缺陷,耗时低,而且准确率高达90%.