基于SU-8厚胶光刻技术的爆炸箔加速膛工艺研究

摘要

SU-8光刻胶是厚胶工艺常用的光刻胶,它是一种基于EPON SU-8树脂的环氧型、负性、近紫外线光刻厚肢,由于曝光时SU-8光刻肢层能够得到均匀一致的曝光量,故使用SU-8光刻肢可获得具有垂直侧壁和较大高深宽比的厚膜图形。本文基于爆炸箔加速膛产品要求,研究了决定SU-8厚股光刻后产品质量的主要工艺参数:肢厚与涂肢转速的关系、前后烘温度与时间、曝光量、显影时间等。获得了适用于片式薄膜爆炸箔加速膛的SU-8厚胶光刻方案。