氮化铝金属化基板镀层黄斑产生机理及改善途径

摘要

本文研究了氮化铝金属化基板镀层黄斑缺陷形成机理，并提出一种有效的改善措施。钨金属化层中的微孔会使镀层残留镀液，残留镀液泛出形成黄斑、试验了增加化学镀镍层、镀镍后增加超声波清洗工序对黄斑的影响。证明了退火后增加化学镀镍层、超声波清洗均可防止黄斑产生 处理后产品满足可焊性和键合等要求。