《洁净室内空气吹淋室的除尘效率》

摘要

＜正＞ 在日本,电子工业的集成电路生产发展非常迅速,其发展速度与生物洁净发展速度之比约为8:2。在日本,空气吹淋室的使用率达90%以上。在美国,对空气吹淋室的使用有争