磁控共溅射制备Ti-Al-Nb薄膜热处理后的组织形貌

摘要

采用磁控共溅法制备了Ti-Al-Nb合金薄膜,并将所制备的薄膜在不同温度进行真空热处理,比较了经不同温度热处理的薄膜的组织形貌.结果表明,薄膜主要以核生长方式形成,随着热处理温度的提高,溅射薄膜颗粒增大,表面粗糙度增加.