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一种UVA型光产酸剂

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本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10～0.11.

著录项

来源
《广东化工》|2021年第8期|18-20|共3页
作者
廖恒;
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作者单位

广东新华粤石化集团股份公司广东茂名525000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学工业;
关键词
光产酸剂; UVA; 超强酸; 光致抗蚀剂; LED;
入库时间 2023-07-24 17:20:18

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