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氧氩比变化对于ZnO薄膜结构及其荧光发射的影响

             

摘要

不同氧氩比对于ZnO薄膜的结构及其荧光发光的影响.随着氧氩比的增加,ZnO薄膜(002)面的衍射峰明显增高,且变得更尖锐,薄膜的晶化得到改善.所有制备的样品均出现了波长位于446nm左右的蓝光峰.随氧分压逐渐增大,样品的PL谱中蓝光峰相对强度比增加.

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