基于数字显微全息的微光学三维测量系统

摘要

针对微光学器件，建立了一种基于数字显微全息原理的微光学三维测量系统，该测量系统能实现微光学器件的三维测量，通过计算分析能获得透镜的相关物理参数。以SUSS微透镜为实验样本，测量结果表明，基于数字显微全息的微光学三维测量系统能很好的实现不同种类微光学器件的三维测量和物理参数分析。