碲化铋基薄膜热电性能的研究

摘要

热电材料能实现热能与电能间的相互转化,有很大的应用价值。碲化铋是研究最早、应用最广的热电材料。本实验采用了磁控溅射的方法,以不同的溅射功率与溅射时间在玻璃基板上得到了6片碲化铋热电薄膜。实验测定了6片薄膜的Seebeck系数与膜厚,观察了其表面形貌,并统一进行了热处理,且在热处理后重新测定了Seebeck系数、XRD图谱,并记录了表面形貌。结果表明,热处理后,薄膜的结晶程度与Seebeck系数均显著提升,总体的热电性能有了大幅提高。其中,在80 W的溅射功率下溅射10至25分钟,可以得到热电性能较好的碲化铋薄膜,有较大的功率因子。