用于微纳器件制备的高精度三维操作台设计

摘要

随着微／纳机械电子系统（MEMS）技术的进一步发展，人们将更多的目光转向新型的功能纳米材料，期以得到更多新型、多功能化、性能优异的维纳传感器。纳米线便是其中重要的一种，本文设计了一种用于对纳米线进行操纵的高精度三维位移台结构，用以实现纳米线的操纵和定位。系统包括高分辨率荧光显微镜、三维位移台结构以及用于与纳米线接触的纳米光纤探针。系统能够实现纳米线的高精度定位与操纵，对制备基于纳米线的纳米传感器具有重要意义。