高温压阻式压力传感器的制作

摘要

在工业和实验室的许多应用中，需要在高温环境状态下测量压力，因而迫切要求开发研制出可供实用的压力传感器．在很多使用场合，对传感器还有体积小的要求．本文介绍一种用SOS(蓝宝石上外延硅)工艺制成的压阻式压力传感器，可在高达425℃的温度状态下使用而不需要冷却，这种传感器可对高达200bar(巴)的压力作静态和动态测量，满量程输出信号约为500mV(半桥)。