四氯化钛与氨气的气相反应过程及其产物氮化钛的特性

摘要

气态ＴｉＣｌ４与ＮＨ３反应，在２００℃时生成ＴｉＣｌ５５ＮＨ３；２５０－４００℃时生成ＴｉＣｌ．５ＮＨ３，ＴｉＣｌＮ和ＮＨ４Ｃｌ；４００℃时生成ＴｉＮｘ，ＮＨ４Ｃｌ和ＨＣｌ。在形成的ＴｉＮｘ原子比ＸＤ ７００℃时为１．２１，８００℃时为１．１６，９００℃时为１．１３，１０００℃以上时为１．１０。