石英半球谐振子力流变抛光

摘要

为提升石英半球谐振子抛光加工的效率及表面质量,对其内外表面进行了力流变抛光实验。利用力流变抛光液的剪切增稠特性,使流变流体柔性把持游离磨粒、并利用其与工件表面的相对运动实现材料去除,通过控制抛光液流场及界面剪切应力实现半球谐振子内外表面的柔性、高效抛光。在实验过程中,石英半球谐振子外表面的抛光采用浸入式抛光方法,在抛光30 min后,材料表面粗糙度Ra从135.5nm降至6.6nm,内表面采用切入式抛光方法,在抛光15 h后,材料表面粗糙度Ra从128.2nm降至9 nm。实验结果证明,力流变抛光方法在石英半球谐振子抛光领域具有巨大的应用潜力。