MEMS多环陀螺调频控制系统

摘要

MEMS多环陀螺是一种轴对称结构基于Coriolis力运动的固体波动陀螺,然而由于加工工艺误差导致了系统模态之间频率漂移、阻尼不均等一系列问题,限制了其向高精度领域的发展。首先对MEMS多环陀螺在力平衡模式下的动力学模型进行分析并对信号处理进行简要介绍,随后对于频率误差做出进一步分析并提出了一种基于电刚度补偿的调频方案,最后基于FPGA平台进行了加入调频控制后的MEMS多环陀螺控制系统实验验证,证明通过两步电刚度补偿法,可以将系统模态之间的频差降为1Hz以内,且有效地降低了系统的零偏和零偏稳定性。