InP／InGaAs单行载流子光电二极管

摘要

单行载流子光电二极管（UTC－PD）是一种新型光探测器，其结构包含中性（p型）窄带隙光吸收层和耗尽宽带隙载流子集结层。UTC－PD最大的特点是高饱和输出、高速响应、低工作电压，这主要得益于只用于电子作有源移动载流子的新型工作模式。本文较详细地说明了InP/InGaAsUTC－PD的工作原理、结构设计、制作工艺、特性及其应用，并通过脉冲光响应测试揭示了UTC－PD与pin－PD饱和机理的不同。