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大气低温等离子体在空心石英管中的薄膜沉积

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本文在空心光纤中,通入八氟环丁烷(c-C4 F8)和氦气(He)的混合气体,通过放电在石英光纤中沉积氟碳薄膜,通过实验分析检测用此种方法沉积的氟碳薄膜在石英管中分布比较均匀.通过光谱仪对放电产生的气体组分进行分析,发现气体组分有多种含碳物种例如:CF2,CN,和C2等.

著录项

来源
《探索科学》 |2020年第4期|258-259|共2页
作者
宋佳琦; 丁炜; 季龙飞;
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作者单位

大连民族大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类等离子体物理的应用;
关键词
大气压等离子体; 氟碳集合物;

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