Veeco推出最新INSIGHT三维原子力显微镜为45nm以下工艺带来高效精准测量技术

摘要

cqvip:Veeco Instruments公司宣布推出最新InSight（TM）3D自动原子力显微镜（AFM）平台，为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight 3DAFM专为量产环境中关键尺寸（CD）、厚度和CMP的测量而设计。