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IC生产线晶圆片冲洗甩干设备的开发和应用

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从IC生产线晶圆片旋转冲洗甩干工艺出发,介绍了半导体晶圆片清洗后的旋转冲洗甩干方法,以及新近开发研制的CXS系列旋转冲洗甩干机的技术原理、结构特点及工艺应用情况.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2004年第3期|64-68|共5页
作者
杨建忠;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,东燕郊,101601;

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正文语种 chi
中图分类洁净技术;
关键词
晶圆片; 旋转冲洗; 甩干; CXS系列;

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