诺发系统有限公司(NOVELLUS)在VECTOR EXPRESS平台上推出可灰化硬掩模工艺技术

摘要

诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR ExpressTM等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台上实现的可灰化硬掩模（AHM？）工艺技术，目前这项技术正在申请专利。VECTOR Express平台上的AHM工艺可应对高阶技术节点应用的挑战，相对于传统的非晶碳膜工艺实现了巨大的技术突破，可支持193nm高深宽比图形的蚀刻要求，