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应用材料公司独一无二的UVision5系统为亚20nm世代提供世界一流的图形检测能力

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●深紫外激光、明场和暗场技术为硅片提供近2倍的光强,实现一流的检测灵敏度rn●专有图像处理运算可降噪50%,能检测到密集结构上的缺陷

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来源
《电子工业专用设备》 |2012年第7期|61-61|共1页
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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
检测能力; 应用材料公司; 图形; 世界; 世代; 系统; 深紫外激光; 检测灵敏度;

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