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重金属掺杂硅平面外延开关三极管失效分析技术研究

             
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摘要

对航天某型号选用3DK104D型NPN硅外延平面小功率开关三极管补充筛选试验中参数超差问题进行了分析,采用非破坏和破坏性分析相结合的技术,对硅基开关晶体管的失效机理进行了研究,最终得出参数超差属批次性质量问题,予以剔除.

著录项

  • 来源
    《环境技术》 |2017年第3期|48-51|共4页
  • 作者

    曹德峰; 张颖; 崔帅; 李志勇; 胥佳灵; 卢健;

  • 作者单位

    上海微小卫星工程中心,上海 201203;

    中国科学院微小卫星重点实验室,上海 201203;

    上海精密计量测试研究所,上海 201109;

    上海微小卫星工程中心,上海 201203;

    中国科学院微小卫星重点实验室,上海 201203;

    上海微小卫星工程中心,上海 201203;

    中国科学院微小卫星重点实验室,上海 201203;

    上海微小卫星工程中心,上海 201203;

    中国科学院微小卫星重点实验室,上海 201203;

    上海微小卫星工程中心,上海 201203;

    中国科学院微小卫星重点实验室,上海 201203;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 V461;
  • 关键词

    开关三极管; 掺杂工艺; 航天型号工程; 失效分析;

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