基于收缩补偿的面曝光成型零件尺寸精度的改善

摘要

针对面曝光成型零件易收缩的问题,采用单因素实验研究了曝光时间、分层厚度、回合等待时间这3项工艺参数对圆柱形零件尺寸收缩率的影响,以获得合理的水平值,然后通过正交实验和极差分析法得到最佳工艺参数组合及该组合下的零件尺寸收缩率,在此基础上计算出收缩补偿因子,在零件分层之前对其尺寸进行收缩补偿,以获得高尺寸精度成型零件.结果表明,在同一工艺参数下Z向的收缩较XY平面方向更为严重;对Z向尺寸精度影响程度从大到小依次为分层厚度、回合等待时间、曝光时间;最佳工艺参数条件下XY平面方向的收缩补偿因子为1.001,Z向的收缩补偿因子为1.0152.经过对复杂零件扩散器模型的收缩补偿,发现在最佳工艺参数下Z向尺寸收缩率由未收缩补偿前的1.59％降低至0.03％,显著提升了面曝光成型零件的尺寸精度.