静电喷射法在柔性衬底上制备二氧化钛薄膜

摘要

在前驱体溶液的流速为60 μL/min的条件下,使用静电喷射技术在铝箔上制备出了具有良好平整度和均匀性的二氧化钛薄膜.薄膜的沉积速率为2 μm/min.退火后的二氧化钛薄膜为单晶锐钛矿结构,在承受多次折叠之后没有任何裂缝或脱落.以此方法在载玻片上制得二氧化钛薄膜,用分光光度计测量了其400～l 100 nm波长范围内的透光率,并与空白载玻片进行比较,得出此二氧化钛薄膜的透光率约为95％.原子力显微镜分析显示,薄膜的平整度达到99％.3M胶带测试结果表明,铝箔上的二氧化钛薄膜具有很好的附着力.这种镀膜方法有望用于生产大面积薄膜,在未来的工业应用中有较好的发展前景.