DOE在TFT特性探索中的应用

摘要

利用科学品质工具,进行TFT特性的探索。探索以要因筛选、DOE优化、趋势化管控的逻辑展开。首先要因筛选通过流程分析定范围,树形图分析锁要因,然后用回归分析验证根本原因。筛选出要因之后我们利用DOE的方法进行策划实验去寻找最佳的参数组合,主要是策划明确响应变量Y,挑因子定水平,设计DOE实验,再去实施和收集数据,以及对结果进行分析,针对分析出来的有效的参数因子,我们对它进行趋势化管控。