SOI结构纳米生物传感器的制备与研究

摘要

生物传感器是一种通过使用生化受体和转导元件接触中进行特定分析检测的一种独立的集成装置,可以迅速且准确地检测并测定和疾病相关的蛋白质生物对于早期筛查肿瘤和早期病情诊断也有着非同寻常的重要意义。近几十年来,不断拓宽的生物电子学研究领域,已经拥有广阔的应用前景,但CMOS制造工艺中Si_(3)N_(4)和SiON等波导材料由于折射率差很小,对光场的限制能力不强,存在很大的耦合损耗。在弯曲波导处也存在辐射损耗,为了降低损耗,可以增加波导的弯曲半径,但是并不利于传感器器件所说的小尺寸、集成度高的制造和设计,并可能严重阻碍对于集成光电子技术的后续发展。一些主流的集成电路应用和工艺技术相比还有着一些差距。