浅析高温Ti4H-SiC肖特基势垒二极管的特性

摘要

SiC是新一代高温、高频、大功率和抗辐照半导体器件和集成电路的半导体材料，具有高击穿电场、高饱和电子漂移速率、高热导率及抗辐照能力强等一系列优点肖特基势垒二极管是实现各种SiC器件的基础，因此对SiC肖特基势垒二极管高温特性的研究具有十分重要的理论和实际意义。