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浅析TFT-LCD工厂特气库安全监控技术运用

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特气库是在TFT-LCD制程过程中重要的生产场所之一,是TFT制程的主要工艺气体集中储存和供应区域.本文分析特气库存在的安全生产风险,提出安全监控技术措施,并从公司实际出发,分析特气安全管理的重要性与必要性.

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来源
《电子世界》 |2016年第12期|100,140|共2页
作者
翟超; 朱振师; 周贺;
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作者单位

京东方科技集团股份有限公司;

北京京东方光电科技有限公司;

福州京东方光电科技有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
TFT-LCD; 特气库; 安全监控;

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