MEMS惯性器件标定方法与试验研究

摘要

低成本加速度计和陀螺仪的精度不好,以及大量程陀螺的量程范围与精确度之间的矛盾问题,导致MEMS惯性器件在实际工程应用中存在一定的局限性.针对这一问题依据惯性器件的标定模型,分别用静态六位置法、动态多档位转速法对加速度计和陀螺进行标定试验分析,并对陀螺进行了一定范围内的温度试验,最后对大量程陀螺在高转速下进行标定试验,对大量程陀螺的零偏进行了三子样条曲线拟合,补偿之后精度基本达到商用水平.