非接触静电放电的电极移动速度和气体压强影响分析

摘要

静电放电(ESD)发生时,放电参数(电流、峰值、上升时间)受气体压强、电极移动速度等多种环境因素而发生明显变化.理论上,应用流体力学中的流体连续性定理和Bernoulli定理说明电极移动速度怎样影响放电参数.在实验中,通过改变电极移动速度和气体压强来考察放电电流峰值和上升时间,并试图对引起放电结果参数明显差异的内在机制加以分析阐释.在ESD的测试中,静电放电参数测试结果呈现低重复性.从理论上和实验上对ESD参数的低重复特性进行深入研究,对于充分认识和把握静电放电的本质和静电放电的危害防护有重要理论和实际意义.