基于DOE方法的Mura检查机检出率提升研究与应用

摘要

本文以8.5G CF面板为基础,将试验设计(DOE)方法学应用于Mura检查机检出率提升项目中.试验方案基于先进的DOE理论,以数学建模、计算机辅助建模为基础,采用自编试验设计程序、建模算法及优化程序等进行合理计算[1].通过实验测试,DOE方法能够缩短整体实验时间,达到理想的设备参数设定效果.