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值得重视的田口式参数设计法

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本文着重论述了田口式参数设计法在半导体制造中对线宽的质量控制.通过田口式参数设计法,可以优化线宽控制对光刻过程步骤中的可控参数的条件,以便将不可控因素的影响降到最低.

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来源
《电子质量》 |2006年第2期|25-28|共4页
作者
魏林;
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作者单位

北京北科汇智软件技术有限公司,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验 ;
关键词
田口式参数; 线宽 ; S/N比; 光刻 ; 晶片 ; 晶体管 ;

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