工艺优先的低成本太赫兹模块研制技术

摘要

基于探针设计、性能评价和互连方式对模块研制成本的影响,提出了一种W波段单面图形探针设计,在75~110 GHz频带内,实现S;参数小于-20 dB,S_(21)参数小于-0.05 dB;提出了一种利用冷热源响应的波形图的性能优劣评价方法,提高模块的调试效率;还提出了一种传输线T结构设计,实现了在基板与芯片(或基板)拼接缝隙大于30μm的情况下,明显改善了W波段高频传输通道的性能指标。根据仿真数据和实物装配后的性能测试验证结果,实现了低成本高性能的太赫兹模块研制。