氮化铝基板上厚膜电阻性能分析

摘要

在AlN基板上,使用IKTS电阻浆料制作了4种方阻的厚膜电阻,确定了AlN基板用电阻的阻值与设计方数的关系,推算出了不同方数下的电阻设计比例.测试了电阻的温度系数,测量结果均小于150×10-6/°C.使用激光调值机对4种方阻的电阻进行调值,经150°C、1000h高温存储,阻值变化率＜1.5％.