基于DOE的半熔高效多晶硅铸锭工艺优化

摘要

cqvip:针对半熔高效多晶铸锭工艺过程中存在的关键问题,通过DOE技术,研究了半熔高效多晶硅铸锭过程中设备、底部熔化温度和半熔跳步高度等工艺参数对铸锭得料率的影响,确定了因素的最佳水平组合及铸锭过程的最佳工艺参数。工艺优化结果经生产过程验证,能显著提高多晶硅锭铸锭得料率和电池转换效率,改善了晶体质量,降低了铸锭成本,对半熔高效多晶硅铸锭工艺生产过程具有可移植的指导意义。