确保石英谐振器蒸发银层厚度一致性的探讨与实践

摘要

叙述了石英谐振器真空蒸镀银层的机理,分析了在进口的串联式真空镀膜设备上造成银层厚度不均匀的原因,是由于石英晶片与蒸发源的距离不等,采取了在蒸发源与承载板之间加金属档板的措施,从而减少了中间部分石英晶片的蒸镀量,保证了最后所有晶片蒸镀银层的一致性。