生瓷带打孔机运动平台的设计

摘要

LTCC是现代微电子封装中的的重要组成部分,因其性能优良而广泛用于高速、高频系统中,生瓷带打孔机是LTCC多层基板制备中的关键设备.高速精密的运动控制技术和精密机械加工技术是生瓷带打孔机的关键技术.本文主要介绍了生瓷带打孔机中X、Y运动平台的设计理念、计算方法、分析和部分仿真结果.对于其它设备的研制,具有一定的借鉴引用价值.