SOI基光波导传输损耗的研究

摘要

SOI基光波导中直波导的传输损耗包括模式失配损耗、内部散射损耗和表面散射损耗。为了研究直波导的传输损耗中3种损耗所占的比例,制作了相同宽度的条形和脊形波导,仿真分析和测试了2种波导的传输损耗。对于1550 nm的光,测试得到条形波导和脊形波导的传输损耗分别为-2.4 dB·cm^(-1)和-2.0 dB·cm^(-1),同样截面且忽略杂质缺陷和表面粗糙程度的理想波导的损耗均接近于0。通过对这些数据的分析,计算出条形波导表面散射损耗为-1.42 dB·cm^(-1),占总体损耗的59.2%,内部散射损耗为-0.98 dB·cm^(-1),占总体的40.8%。