eFuse熔丝电阻值的测量方法

摘要

作为电编程熔丝(eFuse)中的存储介质,熔丝的电阻值用来表征所存储的数据。2种采用5端口法设计的测试单元被用来测量eFuse单元中熔丝的电阻值以及编程控制管的特性参数,并应用于后续通过测试芯片测量eFuse中熔丝电阻的方案中,以间接测量eFuse编程通路的电阻值并消除漏电电流影响的方式准确推算出熔丝的电阻值。最后,提出了1种在常规eFuse中增加辅助电路来测量熔丝电阻的设计方案及测量方法。