Point35Microstructures将氧化物释放技术添加到汽相MEMS制造系列

摘要

全球微机电系统（MEMS）产业蚀划和沉积设备供应商Point 35 Microstructures公司，近日在上海宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块，进一步扩展其微机电系统（MEMS）单晶圆制造memsstar产品系列。这项新增的技术将确保MEMS器件设计师得到更多的牛产选择，同时带来了宽泛的制造工艺窗口和各种工艺控制等等好处，从而使良率得到了最大的提升。