电流垂直流动集成大功率PIN限幅MMIC技术

摘要

提出了一种电流垂直流动的纵向导电PIN二极管集成限幅器.根据功率要求,确定了 PIN的P+、I和N+层浓度和厚度等参数,并设计了工艺实现方案和加工方法,成功研制的SiC衬底Si PIN限幅器面积为3.3mmx3.1 mm,在3.5GHz频率下,能够持续承受200 W连续波功率,300 W、400 W、500W、600W、700 W不同脉冲功率各10 min,且输出漏电平仅为10.3～13.7 dBm.受接头和电缆等功率承受能力的限制以及大功率源的缺乏,没能往更大功率进行实验.测试结果验证了电流垂直PIN异质集成的可行性和PIN二极管纵向导电构思的先进性,大幅提高了功率容量密度和功率承受能力.