P型外延电阻率表面态的研究

摘要

cqvip:P型硅外延材料是制备微波功率器件的关键基础材料,其电阻率的一致性直接影响器件的性能和可靠性。研究通过对Si、N、B 3种元素进行电负性对比,结合P型外延片电容-电压法(CV法)测试波动和纵向载流子分布(SRP)比较分析,确定了造成P型外延电阻率波动的主要原因,并通过对表面态的控制找到解决方案。