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油密封真空泵的安全使用

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摘要

本文主要阐述真空机械泵的运行原理,其中着重说明了泵发生安全事故的主要原因,并提出了如何改善真空系统的建议.

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来源
《电子与封装》 |2003年第2期|54-56|共3页
作者
陈勇; 王永忠;
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作者单位

新中亚微电子有限公司,江苏,无锡,214035;

新中亚微电子有限公司,江苏,无锡,214035;

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正文语种 chi
中图分类电真空测试技术与设备;
关键词
油密封; 自燃; 硅烷;

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