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SiGe技术、器件及其应用

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摘要

SiGe技术和SOI技术将是21世纪硅集成的重要技术,它们相互补充,改善晶体管的速度和性能.本文介绍了SiGe技术、器件和应用.

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来源
《电子与封装》 |2004年第6期|49-52|共4页
作者
翁寿松;
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作者单位

无锡市罗特电子有限公司,江苏,无锡,214002;

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正文语种 chi
中图分类结构、器件;
关键词
SiGe技术; 应变硅技术; SiGe器件应用;

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